加速半导体真空阀门国产替代 闯“芯”路，索奥控股收获大订单

　近日，位于无锡高新区（新吴区）的索奥控股（无锡）有限公司迎来发展的重要里程碑，继国产半导体设备整套真空阀门通过FAB验证，索奥精密阀门又斩获单客户千万级项目订单，实现面向终端客户的批量交付，正式迈入规模化量产阶段。这家由太湖湾信息园引进，以真空阀门、半导体尾气处理设备两大业务为双翼的企业，瞄准半导体关键零部件自主可控，在国产化替代赛道上跑出加速度。

　　“企业诞生于半导体产业链向核心零部件攻坚的关键时期，国内晶圆制造产能持续扩张，但真空阀门等配套环节长期高度依赖海外产品，本土客户迫切需要可靠、高效的国产解决方案。”无锡索奥精密阀门有限公司运营总经理刘佳表示。2024年，索奥控股（无锡）有限公司成立，如今旗下拥有无锡索奥精密阀门有限公司和无锡索奥环保装备有限公司。立足行业痛点，索奥控股确立双业务布局，真空阀门与尾气处理设备互为补充，为半导体客户提供核心配套服务，降低客户多厂商协同成本。

　　真空阀门是半导体设备中至关重要的核心部件，过去长期被海外品牌垄断。经过多轮迭代打磨，索奥控股搭建起完整的真空阀门产品矩阵，覆盖APC控压蝶阀、隔离阀、传输阀三大品类，可满足工艺调压、真空隔离、晶圆传输等多元生产场景。刘佳表示，索奥阀门突出高精度控压、高可靠密封、半导体级洁净三大维度的优势，自研APC控制算法，控压精度可达设定点的0.1%，搭配自适应自学习算法，一套设备便可适配多样工艺工况。公司顺利拿到国产替代的“产线入场券”，斩获千万级客户订单，产品供给国内头部半导体设备企业。

　　凭借硬核技术实力，企业得到资本市场的充分认可。今年6月，索奥控股完成数千万元Pre—A轮融资。本轮融资资金将重点投向高端阀门技术迭代、洁净产线产能扩充，满足大批量交付。此外，尾气处理装备是索奥控股的另一重要板块，已完全实现国内自主研发，为全球客户提供高效、绿色的废气处理解决方案。相较进口设备，设备功耗降低10%—15%，整套综合使用成本可下降约30%。

　　（张安宇、实习生 王幸幸）