刘旭：向着光走，咬住不放

极端光学技术与仪器全国重点实验室的一面墙上，印着大大小小、各种文字写成的“光”。汉字的光，英文的light，法文的lumière，德文的Licht，还有甲骨文里那个像火苗在人身旁跳跃的古老字符……第四届全国创新争先奖状获得者、浙江大学光电科学与工程学院教授刘旭指着墙上的字符，向大家娓娓道来。

这位中国光学研究领域的先锋人物，大半辈子都在和光打交道。光是他研究的对象，也是他丈量人生的标尺。

就在不久前，他和团队耕耘多年的成果——万通道3D纳米激光直写光刻机正式推向市场。这台由他作为创始人之一的杭州玉之泉精密仪器有限公司（下称“玉之泉”）研发的设备，凭借纳米级加工精度和远超市面同类设备的高通量刻写速率，在行业内引发广泛关注。

1990年，刘旭在法国拿到科学博士学位后毅然回国。当时，国内光学工业面临国外先进企业进入中国的挤压，“高端显微镜市场被德日企业牢牢垄断，国内连一台像样的共聚焦显微镜都造不出来。”

刘旭看到自己所在的浙大光电学院帮助浙江余姚一家校办工厂培训光学技术工人，教他们技术、帮助建产线，双方开始了密切的合作。上世纪九十年代，中国市场经济逐渐起步，浙大光电学院由此开创了“前校后厂”的产学研模式——高校拿国际订单，企业负责制造。这家小厂，后来成长为全球光学镜头产业巨头舜宇光学。如今，浙江几乎所有光学企业都流淌着浙大光电学院的血脉。

这段经历让刘旭深刻体会到，光学技术只有走出实验室、经手产业验证，才能真正释放价值。

真正让刘旭团队闯进世界前沿的，是他们向物理极限发起的漫长挑战。

光学成像和光刻都受制于一个天然瓶颈——衍射极限，可见光波长约200纳米，传统手段无法分辨小于其一半波长的结构。2014年诺贝尔化学奖授予超分辨率荧光显微技术领域专家，该技术靠荧光分子标记突破极限。

刘旭却选择了另一条路。此前，他带领团队探索“光学移频”超分辨机制，不用荧光标记，靠表面波照明移频效应，把分辨率做到了可见光波长的十分之一。团队提出了光与物质的双边缘抑制超分辨激光直写光刻技术，极大突破了激光直写的精度，改变了直写光刻精度依赖激光波长的物理传统，将激光直写的分辨率提升至亚50纳米量级。

如今，依托浙江大学三十余年超分辨光学领域的技术积淀，玉之泉构建了从核心光学部件设计到整机集成的完整研发体系，打破了国外厂商在高端直写光刻领域的长期垄断。

问及企业名称的由来，刘旭笑着说，团队在玉泉校区注册公司时临时起意，随手加了个“之”字，取名“玉之泉”。如今，这个随手拈来的名字承载着将国产光刻设备推向产业前端的使命。

眼下，团队正在攻关的桌面式极紫外光显微镜，正是这个蓝图的其中一块拼图。它有望将过去需要庞大同步辐射装置才能实现的极紫外光显微技术，压缩到3米长的实验台上。

采访最后，刘旭被问到最想对年轻科研者说什么，他想了想，说道：“向着光走，咬住不放。”