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5月11日,新施诺半导体第五代天车系统发布暨智能工厂启用仪式在苏州高新区举行。
据介绍,半导体工厂内在天花板上运行的天车系统,是硅片和晶圆制造流程的重要组成部分,贯穿整个生产工序,本次发布的第五代天车系统,作为国内半导体制造产线智能化升级领域取得的重大突破,将为国内一线晶圆厂、面板厂物流自动化解决方案带来技术革新。
此次启用的新施诺半导体智能工厂项目,计划建设国内投资规模最大的AMHS设备项目总部及研发、生产中心。
苏州新施诺半导体设备有限公司总经理王宏玉介绍,最新发布的第五代天车系统,在运行流畅性、稳定性、装载时间、低震动性能上都有良好的表现,希望在苏州的智能工厂,通过创新研发不断推出新技术新产品,实现半导体行业AMHS设备和软件的国产化替代。
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