“抠”出200纳米级精度 群科直驱加速推动高精度运动平台国产替代

　1毫米等于1000微米，1微米等于1000纳米。

　　就在几个月前，由位于锡山区东北塘街道的无锡群科直驱半导体有限公司自主研发的纳米级设备平台，在实验室测试中达到了200纳米级精度。

　　“我们做到了。”总经理朱小瑞说这话时，语气平静，但实验室里反复验证了大半年的数据，足以说明其中的分量。近日，记者获悉，企业正着手准备市、省首台（套）重大装备申报。这次从微米级向纳米级的跨越，正加快从实验室走向产业化。

　　一场大会，让紧迫感更真实了

　　2026集成电路（无锡）创新发展大会期间，朱小瑞的亲身经历让他更加坚定了判断——向更高精度领域继续突破，这条路走对了。“外地企业明显多了，无锡集成电路产业的影响力越来越大。”走进展馆，他没有在整机模型前过多停留，目光更多落在设备内部的运动单元、材料和零部件方案上。在看展的人潮里，他感受到的不只是热度，更是紧迫感——产业链对国产核心零部件的需求，比想象中更迫切。

　　这种感受并非空穴来风。在半导体生产过程中，无论是工艺加工还是测量检测，设备内部的运动机构都承担着高精度移动、定位等关键功能。平台能否“走得准、停得稳”，直接关系到整机的加工和检测精度。过去，达到纳米精度等级的相关产品主要依赖进口。如何让高精度运动平台实现国产替代，是群科直驱近年来重点攻坚的方向。

　　纳米级，不是小数点后挪几位那么简单

　　精度从微米级提升至纳米级，发生在今年6月。但这场技术跨越的背后，是长达数年的持续攻坚。

　　“纳米级”并非某一个参数达到要求就算过关。定位精度、重复定位精度、平面度、垂直度……多项指标共同构成一个系统性的精度体系。“从微米到纳米，看上去只是小数点往后挪了几位，实际上是材料、加工、装配、测量和环境控制的整体跃升。”朱小瑞说，平台每一次移动、每一次停靠，都要控制在肉眼无法分辨的尺度内，任何一个环节“掉链子”，最终精度都无法达标。

　　传统精密设备多以花岗岩作为底座和平台载体，稳定性高、成本可控，但到了纳米级，花岗岩的热膨胀系数和内部应力分布开始“不够用”。群科直驱的团队花了两年多时间，反复调整配方、测试工艺，最终转向加工难度更高的新材料。

　　“到了纳米级，环境变化带来的影响会被不断放大。”朱小瑞举了一个例子：此前调试高精度产品时，设备在厂内测试达标，到了客户现场，温差等环境条件发生变化，精度也会出现偏移。这意味着，达到目标精度只是第一步，如何让设备在长时间运行中始终保持稳定可靠，同样是一场硬仗。

　　为此，企业投入2000多万元建设百级无尘车间，购置国际先进的加工和测量设备，对平台进行反复校准验证，把影响精度的每一个环节尽可能“抠细”。

　　市场验证：精度达标，价格减半，周期缩短

　　技术攻关的成果，最终要接受市场的检验。目前，这款纳米级设备平台已提供给武汉一家头部半导体设备厂商，并通过实验室测试。在满足同等精度要求的情况下，群科直驱产品的交付周期可缩短至45至60天，价格约为国外同类产品的一半。

　　对半导体设备厂商而言，这意味着一个更灵活、更具性价比的国产替代选项。这场向纳米级的进阶并非从零起步。2024年，群科直驱签约落户东北塘；2025年年底，公司正式投产。在厂房规划之初，企业就预留了约800平方米的恒温洁净空间，并逐步将研发力量向无锡集聚。

　　从直线电机、DD马达、精密大理石平台到完整的纳米级设备平台，群科直驱将多年积累的精密传动技术、装配经验以及对客户需求的理解，“串”成了一套完整的超高精密运动解决方案。目前，企业正在围绕材料供应、工艺一致性、人才培养和客户验证等方面加快提升量产能力。

　　属地服务：外来技术人员能安下心来

　　企业的“高精尖”攀登，离不开属地服务托底。厂房建设、人员招聘、人才公寓、员工子女入学、科技项目申报……自落户以来，东北塘街道围绕企业和人才需求提供全流程服务。“我们做的不是锦上添花，而是让外来技术人员能够真正安下心来。”街道相关负责人说。

　　这种“安心”对企业而言意义深远。半导体设备研发周期长、试错成本高，一支稳定的技术团队往往是决定项目成败的关键变量。朱小瑞透露了接下来的计划：推动200纳米级平台从技术突破迈向产业化，同时为50纳米级设备的研发做好技术储备。“在这个细分赛道上，我们还会继续向更高精度迈进。”朱小瑞对未来充满信心。

　　（尹晖、袁林）