中科院苏州纳米所纳米真空互联实验站二期通过验收

中国江苏网讯（记者 程晓琳） 2月18日，中科院苏州纳米所纳米真空互联实验站二期建设项目在苏州顺利通过总体验收，已初步建成国际先进的真空互联综合实验装置。

中科院苏州纳米所纳米真空互联实验站始建于2014年，是世界首个以国家重大科技基础设施为标准建设的重大科学装置。面向国家战略需求和科学前沿重大问题，实验站开创了一条变革性的技术路线，其将材料生长、器件工艺、测试分析等功能通过超高真空管道有机互联，使得传统常规超洁净环境下独立分散设备难以实现的材料本征特性、原子级精准调控、器件原位制造等局限实现突破。

中国科学院苏州纳米所所务委员、实验站主任张珽研究员介绍，目前，长达203米的真空互联管道中，近40台大型工艺设备已实现互联，配套的材料制备与工艺、微观机理准原位分析、跨尺度性能测试、气氛可控和真空互联控制与对接系统等五大模块平台全部建成。实验站组建的一支200余人的高水平人才队伍，在半导体材料、量子材料、能源与催化材料、高温超导材料、有机半导体材料及新兴纳米材料等先进材料和半导体核心器件领域已取得一定的国际影响力。中国科学院苏州纳米所副所长、党委副书记王强斌表示，未来，纳米真空互联实验站将继续向建设成国际上最先进的纳米器件与材料综合研究系统和公共实验平台目标迈进，围绕纳米科技领域重要前瞻性战略布局，为江苏省乃至长三角地区产业发展提供强力支撑。